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    RS-100全自動防塵半導(dǎo)體行業(yè)點膠系統(tǒng)

    RS-100是一款基于RDL First WLP 行業(yè)點膠需求開發(fā)的，集晶圓自動上下料功能的噴膠系統(tǒng)。該系統(tǒng)集晶圓自動上下料與晶圓級噴膠功能于一體，可全自動實現(xiàn)晶圓搬運、對位、預(yù)熱、作業(yè)加熱、噴膠、散熱等功能。配置AMHS自動上下貨機器人接口，匹配信息化管理要求與無人化管理趨勢，點膠區(qū)域達到 550mmx510mm。

    產(chǎn)品概覽

    核心優(yōu)勢

    良率提升：工作機位作業(yè)前后檢測，末站專業(yè)檢測，實現(xiàn)多重防呆。
    全自動化：同時配備自動上料機、自動下料機，匹配信息化管理要求與無人化管理趨勢。
    防止整線宕機：作業(yè)軌/傳輸軌分離，單臺停機不影響整線運行。
    滿足信息化管理需求：實時MES系統(tǒng)對接，上傳生產(chǎn)狀態(tài)信息，系統(tǒng)異常狀態(tài)報警。支持SECS/GEM半導(dǎo)體通訊協(xié)議。

    嚴(yán)格溫控：在晶圓流轉(zhuǎn)與作業(yè)全過程中對溫度進行管控并自動校正，滿足CUF工藝需求。


    滿足嚴(yán)苛的工程條件要求
    百級防塵設(shè)計 專用于環(huán)保車間（通過建模與仿真，配置防塵部件及線纜，氣體過濾等）；
    ESD防靜電設(shè)計（符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20標(biāo)準(zhǔn)) ；
    防震動（礦物質(zhì)框架，具有良好吸震性，有效減少高速運動帶來的沖擊）。


    系統(tǒng)組成



    規(guī)格參數(shù)

    RS-100

    基本參數(shù)

    外形尺寸 mm

    960×1240×1467（W*D*H）

    重量 kg

    標(biāo)準(zhǔn)機：900

    用電需求

    電壓220V，50HZ，電流16A

    氣壓需求MPa

    最小氣壓0.6

    設(shè)備功耗W

    ≦2500

    有效行程 mm

    X550*Y510

    軌道高度mm

    900±30

    軌道承重（含載具）Kg

    4.5

    最大基板厚度 mm

    5.5

    軸數(shù)

    X、Y、Z

    驅(qū)動方式

    X/Y/Z軸采用伺服馬達+精密滾珠絲桿

    定位精度

    ±15um(X\Y)；±15um(Z)

    重復(fù)精度

    ±10um(X\Y)；±10um(Z)

    最大速度mm/s

    1000(X/Y)；300(Z)

    最大加速度

    1g(X/Y)；0.3g（Z）

    視覺定位系統(tǒng)

    工業(yè)CCD

    計算機及軟件

    Windows 系統(tǒng)開發(fā)下軟件

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